Кремний |
![]() |
![]() |
К монокристаллическому кремнию относятся цилиндрические слитки кремния выращенные методом Чохральского. Независимо от типа и происхождения кристаллического кремния полученные квадратные, псевдоквадратные призмы и цилиндры из кремния разрезаются на пластины на которых методами эпитаксии и фотолитографии (т. н. планарная технология) создают те или иные электронные приборы. Параметры обработки:
|